据上海市环境保护信息中心最近几天公示信息，2021年，上海集成电路研发中心国产设备机台及化学品的验证业务量明显上升，超过企业现有试验规模，因此上海集成电路研发中心拟依托现有的试验线，建设国产验证项目主要的验证内容有:一，验证国产酸洗工艺和材料，相应增加氢氟酸，硝酸，硫酸，氨水，双氧水的使用量，二，验证评估国产光刻胶，相应增加光刻胶，稀释剂，显影液，防反射薄膜生成液及NE111的用量项目总投资5000万元，计划于2021年12月开工，2022年2月完成建设
上海将建国产半导体材料设备验证项目
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